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多晶硅除硼樹脂

作者:admin 發布日期:2022-03-10 15:28

多晶硅是制備硅太陽電池、各種硅分立器件和各種硅集成電路的基本原料,是發展太陽 能產業和信息微電子產業的戰略物資。

要將1N?2N的工業多晶硅提純到6N?7N的太陽能級多晶硅和9N?12N電子級的多晶硅,現有的方法有物理方法和化學方法兩類。

雖然這些方法可以將大多數金屬雜質去除,然而雜質分凝提純的物理方法卻不適合于硅中硼和磷雜質的去除,因為硼在硅中的分凝系數是0.8,磷是0.35,都接近1,分凝提純的效果很差。

 

吸附法是利用固體吸附劑來對多晶硅生產中的雜質進行吸附分離的操作方法,基本原理是基于化合物分子大小和極性的不同來吸附分離的。

多晶硅生產中的硼、磷雜質如BCl3、PCl3等是具有相當大的偶極矩的不對稱分子,具有很強的極性,強烈地趨向于形成加成化學鍵,很容易被吸附劑吸附。硼吸附機理主要是螯合作用,而且大多硼吸附劑主要利用功能基團與硼的螯合作用來吸附除硼。磷吸附機理主要是配位絡合與離子交換形式的化學吸附。

總之對吸附劑的一般要求原則有:1)具有大的表面積;2)二具有大的表面活性。?

 

基于此,海普研發研發出多款多晶硅除硼樹脂,海普多晶硅除硼樹脂是一種具有多功能的特種樹脂,其既具有選擇性去除硼、磷雜質的功能基團,又具有催化反歧化反應基團,可滿足多晶硅行業相關應用需求。

HPC-118適用于多晶硅中硼磷雜質去除,同時還可輔助反歧化反應。








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